关于TFC求nk的问题

 
7.3k 12
发表于 2007-7-5 19:53:23|上海 | 查看全部 阅读模式
大家好,我最近用TFC求nk,用formula法,可到最好算出的nk相差很大的,
用TFC材料库中的TIO2模拟700nm,5个peak,得出的T作为测量值,反推回去,可怎样偏差都很大,太大了。(至少15%)
各位大侠,谁有这方面经验?请教一下,什么原因,有软件方面的原因吗?

回复|共 12 个

zzzz Lv.10 发表于 2007-7-6 08:23:14|福建 | 查看全部
镀那么厚干吗?
那么厚的膜蒸发的未必均匀,如何可以算准了.
hydralisk-1 Lv.7 发表于 2007-7-6 15:26:14|浙江 | 查看全部
下个MACLOED试用版计算N,K很好做,也比较准
1,测量400nm厚的TIO2膜单层T曲线,300~1100nm范围,0.5步长,光度计SLIT2.0以下.最好是绝对值测量的数值.不要参考测量的.那个数据不大准确,通常会大于未镀膜基板的透射率,这样就无法求消光系数了.
2.在MACLEOD中打开NEW-----OPTICAL CONSTANT------选取TRANSMITTANCE子项,然后在FILE下IMPORT保存的TIO2单层透射率数值.然后就是取点(1/4和1/2波长处).取完点就可以计算了,点主菜单calculate,设置参数,主要就改两个,一个是选择SUBSTRATE,也可以自己测量SUB的T数值导入.另一个是APROXIMATARY的选择,默认是1.5,但是模拟出来的T曲线通常会和实际测量有很大差异,这时可以把此值改大一点.其他的参数可以不动.点EXTRACT N/K,然后在OPTICAL CONSTANT子卡结果就都出来啦!很方便.
       注意,因为我们只用TIO2单层的透射曲线来计算N/K,所以计算时是假设膜层必须是HOMOGENIOUS和ABSORBING的,
      最好是能够准确的测出镀膜基片的T/R曲线,TIO2单层的T/R曲线,(如果不是绝对测量,通常在有的波长点T+R会大于100%,就会无法计算了)这样就可以认为TIO2单层是INHOMOGENIOUS和ABSORBING的了.出来的结果也更符合实际情况.
zzzz Lv.10 发表于 2007-7-6 16:44:07|福建 | 查看全部
准确测试谈何容易啊
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hsliu8358 Lv.6 发表于 2007-7-6 21:29:25|天津 | 查看全部
根本不可能计算出准确值!!!!!!
tfc Lv.9 发表于 2007-7-7 11:47:26|中国 | 查看全部
过去经验,用椭偏仪测,同样仪器,我们测和算结果不好.请老外搞(合作者)用起来准.
TFC我后来先设NK再吻合曲线,还行.计算不准是你不知道用哪个公式是最佳,造成偏离.
fawang 楼主Lv.9 发表于 2007-7-7 13:37:52|上海 | 查看全部
谢谢大家的指教,可能我没说清楚,我的意思是:
1。我先用TFC模拟镀单层膜TIO2,参考波长700nm,5个peak,然后将模拟出来的T保存起来,
2。将模拟出来的T值当作实际镀膜后的测量值,并将这些T值带入到formula算法要的测量值中。
3。虽然选用不同的公式,甚至K值(取K=0)和膜厚(D=375.86nm)都有取过第一步模拟时的值,但模拟出来的值始终都有很大的偏差(15%以上)。?????????
4.我记得曾经有一次有取K值(取K=0)和膜厚(D=375.86nm),算出的值比较接近第一步的NK(但其它公式或膜厚估计值时就相差非常大).而这次不管我怎么变都相差很大??????????

还请各位大侠指教!!!!!
tfc Lv.9 发表于 2007-7-7 17:59:31|中国 | 查看全部
有许多问题,随便举几个:同一块玻璃镀前后测T,采样波长范围要小,每次镀膜TOOLING不同,有没有做到最小吸收?每个PEAK植是否相等?
fawang 楼主Lv.9 发表于 2007-7-8 00:28:08|上海 | 查看全部

回复 #8 tfc 的帖子

^_^,所有一切都是模拟的,并没有实际镀,我在7#有解释
fawang 楼主Lv.9 发表于 2007-7-10 23:15:26|上海 | 查看全部
怎么没人解疑呀?
zzzz Lv.10 发表于 2007-7-11 08:18:56|福建 | 查看全部
formula算法??是什么啊?
只要设置的参数正确可以拟合出NK
fawang 楼主Lv.9 发表于 2007-7-11 19:21:50|上海 | 查看全部

回复 #11 zzzz 的帖子

就是用材料公式法呀,照理说我这样反推回去不存在测量误差呀?可我怎么都模拟不出来呀?你是怎么模拟的呀?能否教教小弟?

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