|
|
发表于 2008-9-21 22:12:41
|
显示全部楼层
原帖由 Femtosecond 于 2008-9-18 16:17 发表 
真正的冷加工需要亚皮秒水平的脉冲激光,目前在激光微加工方面一般采用百飞秒的激光脉冲。这类激光对大多数材料,可以实现微加工;尤其是透明材料中,还可以实现三维加工。在这类加工过程中热效应极小,产生的再沉积 ...
目前亚皮秒应用在加工上还基本是出于实验室阶段,商用设备有,但是很少,毕竟激光器的成本比较高,事实上完全的冷加工也不存在,热的产生也总是有,就算是用193的波长或者几十飞秒的激光器,热效应和等离子氛围一样会产生。只要热效应不至于远远超出需要加工的效果,就是能够接受的。
保护气的问题,氮气是一般的保护气,但是对于活性金属包括铝,因为有氮化铝这种化合物,以及半导体,还是采用惰性气体最好,一般的也就是氦气了。在半封闭的工作区域使用,用量其实并不大,只要气流能够保证激光作用点周围就好。而微加工的激光光点很小,所以用小的吹气针或者同轴吹气环就好,气量可以比较节省。
楼主没有说你需要加工的宽度,以及膜是单独的还是附在其他物质上,这个和选取的波长以及脉宽也是有关系的。一般来说,高分子膜可以采用355或者266的波长,铜镍合金可以采用532波长。具体的还是要根据具体情况来定。 |
|