查看: 3987|回复: 13

只知道物理厚度怎么用光控做呀

[复制链接]
发表于 2008-11-5 16:52:50 | 显示全部楼层 |阅读模式
不知道咋算,谁能提供下公式呢?谢谢!怎么算出中心波长设定多少呢
发表于 2008-11-5 18:29:35 | 显示全部楼层
中心波长=4nd
用这个波长监控,只要一个极值达到就成了.
发表于 2008-11-5 23:08:02 | 显示全部楼层
不用考虑TooLing偏差么
发表于 2008-11-6 09:17:55 | 显示全部楼层
不可能一下子就没有任何偏差的,只能先按理论计算结果做实验,完了再根据实验结果进行调节
发表于 2008-11-7 14:28:16 | 显示全部楼层
原帖由 280345601 于 2008-11-5 23:08 发表
不用考虑TooLing偏差么

这不是在给楼主说下原理吗?!还没有爬呢,就想跑啊.
发表于 2008-11-7 14:53:14 | 显示全部楼层
ND知道了不就知道了物理厚度了么‘???
 楼主| 发表于 2008-11-7 15:50:22 | 显示全部楼层

明白了

谢谢大家,我还想知道的是用两种膜料做一个膜系,用不用先考虑TOOLING值?假设做出来曲线有漂移可以按比例移到想要的位置吗
发表于 2008-11-7 17:47:19 | 显示全部楼层
tooling是指工艺上的,要根据膜料来进行调节.理论与实践总有差距的.调好了,漂移就可以纠正了.(其实不能叫漂移,位置偏差更合适些.漂移多用来指因为膜层折射率等改变引起的曲线位置的变化,多半不大.)
 楼主| 发表于 2008-11-10 12:55:47 | 显示全部楼层

那设计膜系后,在做之前是不是一定要先把每种膜料的TOOLING值算出来再摸拟一下呀?
发表于 2008-12-2 20:39:05 | 显示全部楼层
nd=1/4波长  剩下的用软件了,还有与基板的角度有关系,需要条件确认
发表于 2008-12-27 09:18:36 | 显示全部楼层
换算成光学厚度就可以了。。。。。
发表于 2008-12-28 14:13:15 | 显示全部楼层
用公式算出膜堆之后,要考虑的就是基板到蒸发源的距离,溢镀量等因素,这些根据经验做些调整就可以了,不需要去用数学的方式来解决。
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册

本版积分规则

关注公众号

相关侵权、举报、投诉及建议等,请发 E-mail:admin@discuz.vip

Powered by Discuz! X5.0 Licensed © 2001-2026 Discuz! Team.|鄂ICP备17021725号-1

在本版发帖
关注公众号
QQ客服返回顶部