2008-11-5 22:45:36 | 显示全部楼层 | 阅读模式
五维光学调整架
技术参数:
1. X,Y,Z移动距离分别为:
      X向: ±7.5mm
      Y向: ±9   mm
      Z向: ±10 mm
2. 运动精度:在各方向运行范围内,直线度误差小于0.005;
                   X,Y方向运动15mm范围内在Z向的分量小于
           0.005
3. 三爪机构夹持范围 圆10~圆130
4. X,Y偏摆机构,偏摆范围不小于5度
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