一个关于锌锡靶烧靶的问题

swift · *发表于* 2008-11-21 17:10:13

我在这里有个问题希望大家指点一下:
用纯Ar烧锌锡靶材时,把表面氧化物烧掉后难免会继续烧纯金属的锌锡靶,(52%Zn, 48%锡----按重量)我想知道这时候Zn,Sn哪种材料沉积率大? 谢谢!

wukeyi28 · *发表于* 2008-11-21 17:14:39

等待高手出现！！

swift · *发表于* 2008-11-22 13:39:15

达人速度进来帮帮小弟吧@.@

zzzz · *发表于* 2008-11-24 08:29:11

这个问题非常有深度,但是楼主没注意到合金的用处,你蒸这合金是否还要这配比.若不要则无须考虑沉积率;若要则必须考虑一样的沉积率.
具体没研究过

swift · *发表于* 2008-11-24 09:13:31

这个问题非常有深度,但是楼主没注意到合金的用处,你蒸这合金是否还要这配比.若不要则无须考虑沉积率;若要则必须考虑一样的沉积率.
具体没研究过我本将心向明月,奈何明月照沟渠.

楼上的朋友,我们这是离线溅射镀,还有一种是Zn90的靶.而我说的这种靶目的是出Zn2SnO4, Zn:Sn=2:1.
所以烧靶的时候肯定会影响靶材材料的正常成分比, 然后会影响沉积的成分!
所以挺头疼的!!!这个问题哪位高人帮忙解答一下,或者有关于这方面的资料.中英文的都可以!3Q

noodlesy · *发表于* 2008-12-1 14:44:48

这个问题可以和供应商要求，做这种配比2：1的靶材，这个应该不困难。如果你使用52%Zn, 48%锡的靶材，冷却效果好的话，生成的应该是ZnSnO2

一个关于锌锡靶烧靶的问题

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