[求助]超净实验室～～～～

dyzyd

单位要建一超净实验室，上网查了一下资料，有什么洁净度，100级，1000级等等术语，
因对这些不是很了解，请教各位大侠：
建超净试验室有什么要求，或者哪里可以找到这方面的资料，不胜感激！

xiaoshi

微电子工艺方面好像要用到超净室，向光刻工艺什么的，你可以去这方面的网站看看，或请教这方面的专家，具体的也不是很清楚。

free

百级,千级是指单位体积内直径大于某一个数值的颗粒的数目.数目约少,级别越高.具体的数字我不太清楚,你可以去查一些关于超净公司的主页或者直接打电话问他们.

suncon

净化工程检验标准
  空气洁净度是指洁净环境中空气含尘（微粒）量多少的程度，含尘浓度高则洁净度低，含尘
浓度低则洁净度高。空气洁净度本身是无量纲的。
  但是，空气洁净度的高低可用空气洁净度级别来区分，空气洁净度级别则以每立方米
空气中最大允许微粒数来确定。
•中国药品生产洁净室（区）的空气洁净度标准（国家药品监督管理局1999年8月发布实施）
洁净度级别尘粒最大允许数/立方米尘粒最大允许数
≥0.5μm≥0.5μm浮游菌/立方米沉降菌/立方米
1003500051
100035000020001003
10000035000002000050010
3000001050000060000NA15
•美国联邦标准FS209E空气洁净度标准
级别名称 0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μm
容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位
国际单位英制单位





M1.511240 35.0265 7.50106 3.00 35.3 1.00... ...
M2.5102400 3502650 75.01060 30.0353 10.0... ...
M3.5100... ...26500 75010600 3003530 100... ...
M4.51000... ...... ...... ...35300 1000247 7.00
M5.510000... ...... ...... ...353000 100002470 70.0
M6.5100000... ...... ... ... ...3530000 1000024700 700

gb936

所谓百级，指每立方英尺空间内含有大等于0.5微米尘埃不超100个,余类推.

ab209

对于净化间的级别要求要看你要作什么，如果就是做光胶的话10000级就够了，如果要光刻的话，至少是百级，如果线宽 0.x 的话，那级别恐怕得10级以上了。