镀膜IR 红点问题

使用SIO2 TIO2       G/A（0.5lh0.5l）^8  B(0.5lh0.5l)^8/A     IR CUT OFF FILTER

SIO2方形蒸发面积  25a/s   TIO2点状蒸发面积 5a/s   单枪180度转向  预热300度  镀膜温度280度  电子枪电压7KV   SIO2电流160-180MA   TIO2电流200-240MA
O2使用   ION不使用   SIO2真空度8EX-5Torr     TIO2真空度1.4EX-4Torr      

真空系统组合：机械泵+罗茨+双DP        

GLASS  肖特D263T   材料不错  

监控方式:晶振片IC/5

镀膜中，真空度稳定，速率比较稳定，光斑耀点正常，冷却水正常，机台亲自打扫（洁净），电子枪电压电流无异常，I/C5晶振片正常。冷凝器正常。电压电流正常。

镀膜后，产品光谱正常。。。外观异常，有雾状小白点，1微米级的，均匀分布，看似灰蒙蒙一片。。
而且伴随有红点出现，有红雾状，均匀分布。

注：本公司使用韩一镀膜机人工手动预融TIO2颗粒状到块状，坩埚为水冷铜坩埚，边缘存在融化现象，因为反复预熔药品导致。

分析：1.可能是隐藏于DP与真空室开关下的冷凝器污染，DP开关密封圈严重污染
      2.与真空室相连的关键部位未清洁，未擦真空油。
      3.可能有CU大颗粒原子团，或者混合TIO2，粘接到产品膜层
      4.可能电子枪电流电压过大
      5.真空计指示不准确，需要校正
      6.加热灯存在放电现象   其他裸线部位可能放电
      7.金属温度感应探头失灵

结果：无任何改善。。。。。。。晕了

怀疑点：1.故障机台镀膜后，TIO2药品打的比平时要多，损耗量比以前大，余量有点少
        2.故障机台的截止点不稳定，同样的程序，总是在透过率OK的情况下出现10NM的截止点上漂，例如，该程序设定650NM的截止点，但是却可能出现660-670NM的截止点，但是光谱透过率无异常，甚至比故障前要平稳的多。RIPPLE很小。

红点都一个月了   我现在时望点兴叹啊    求救    本人对镀膜基本不懂   以前是品管的

问题出在膜料污染上面.
SIO2不要太大的蒸发速率,10埃/秒,碎料不好或干脆用块料.解决了雾状小白点.
TIO2膜料不好,容易出红点(容易过热或失氧),或干脆用TA2O5.

最好要有离子源.清洁干净的离子源,起码要用瓶装氮气吹一下.

问题就在于   ION是坚决不用的   而且使用的就是SIO2块料   纯度99999的    无语了

居然一再出现红点    全面均匀分布    很吓人的

那就是TIO2膜料污染了,改善改善一下膜料的清洁问题吧,不然换TA2O5吧.

三楼的意见很对，LZ仔细查下。

TIO2料上下点工夫..................................

再看看，氧气是否正常

楼主的敬业精神令在下佩服！！！！！！！！！！学习了！！！！！！！！三楼有道理！！！！！！

零件基底的清洁度确认了没呢？

先用我买的那些Mo坩埚预熔下TiO2再镀IR实验下，有做技术的潜力，以前我怎么没发现呢，呵呵。