请教如何测量高电阻

请教如何测量GaN的电阻，高达1E+13的电阻用什么方法可以测量呢

可以使用两端、漏电流法测量。
初测超过漏电流计的精度的条件下，可以尝试磨薄样品增加电压再次测量。

有没有可能采用不超过击穿电压的高电压啊
既然知道了大概电阻的数值了的

EST120数字高阻计
1×10 3Ω ～1×10  15 Ω。机内测试电压为DC500V。以数字直接显示出电阻值,精度高、显示迅速、稳定性好、读数方便。本仪器适用于防静电产品如防静电鞋、防静电塑料橡胶制品、计算机房防静电活动地板等的检验和电子电器产品的绝缘电阻测量。本仪器除能测电阻外，还能直接测量电导。




  引用链接,便于参考ESD-china): http://www.esd-china.com/im1/resist_meters.htm

加适当的电压，用皮安表测试漏电流，是不是可以呢？