菲索激光干涉仪 资料

美国4DAccuFiz激光干涉仪-通用型，原来是做WYKO干涉仪的，后来做动态干涉仪就是不需要隔振台那种，现在也出通用型的激光干涉仪，看了看参数，分辨率比ZYGO的高，分辨的条纹数多。而且仪器做的很小巧

测量模式：时域相移，可选动态测量

光源：632.8nm 氦氖激光，可选稳频激光，532，1053，1064nm波长可选

输出光束：4in或6in（100mm或150mm），圆偏振准直光

参考镜：卡口式安装，通用标准接口

4in口径：4.25in（10.8cm）轴向、水平或侧边

6in口径：5.26in（13.3cm）轴向、水平或侧边

变倍：10X

对准：双光束指示

相机：600 x 600像素，12位，可选1200 x 1200像素，12位

操纵杆：远程控制变焦、变倍、pan、光源直径、测量

系统软件：4Sight波前分析软件（含用户手册）

                 瞬时相移数据采集

                合成参考面，数据相减，数据平均，设置模板等操作

                2D及3D 表面形貌图

                Zernike / Seidel/ Slope / Geometric / Fourier 分析

                标定数据集的实际尺寸

                绝对球面，三球面标定

                支持HDF4 / HDF5数据格式

                同时支持（opd、map、dat、hdf、int、cvs及 txt）

尺寸：52.6 x 23.8 x 20.3cm

重量：<13.6Kg(30lbs)

功耗：<750W

温度范围       工作温度：60–80° F, 无凝结

                     储存温度: 30–100° F, 无凝结

系统性能
条纹分辨能力   500对

采样率：显示速率> 30 f/s

样品反射率：1 到100%（要求衰减）

RMS 重复性：< 0.0002 wave  RMS

                     <0.00004 wave  RMS（带扩展精密包）

未标定精度：< λ/20透射平面（参考平面）

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nancy-y 发表于 2012-7-19 15:51

值得考虑