懒得糊涂 发表于 2011-9-8 17:37 
1,光控片与石英片的位置不一致,高低,角度都有影响
2,光控片与石英片材料是不是也不一致,这个好像也能 ...
谢谢懒兄的回答,但是我这设备并不是一开始就是这样,而是大约2年前开始出现的问题,而同一种产品已经连续镀了5年了。
因此您说的提前量都已经有所控制的,但现在的提前量已经失控了。
据说两年前突然有一次找不到光,然后就一直这样的(我可是今年才来的这个公司)。
我也想过光控片没有放正的可能,但光控片斜了的话,实际镀出来的应该偏薄而不是偏厚吧?而且要偏100~200nm,那得倾斜多少啊,我镀的是980nm的光。
想到最后,我发觉比较合理的解释,就是实际进入的波长偏长了,是不是呢? |