如何测试光点间距？

flux · 发表于 2004-8-26 22:47:00

问题是这样：有两个光点，光斑大小为10um(微米）, 光斑间距大概是300um，

希望测试精度可以到0.1um以下。请高手替我想想点子，若有好的点子，在我能力

范围给予适当的“点子”费。具体可以和我联系： flux001@tom.com

mgs6111 · 发表于 2004-8-29 18:19:00

有浙大的校友吗？

南山王 · 发表于 2004-8-31 01:42:00

要做到0.1um的测量精度，不是件容易的事。

需要对点距进行放大，扩大光电间距和光斑直径；

采用线阵CCD接收放大后的图像；

关键一点是运用适当的曲线拟合办法推算出光斑的中心位置（光斑图像灰度的峰值点）。

fengxg1974 · 发表于 2004-9-3 01:30:00

测试精度要低于0.1μm，我认为，这实在太困难了—即使用大数值孔径的光学显微镜＋进口CCD＋数学处理也是未知数。

可不可以这样呢：让两个光斑同时在光刻胶上曝光、显影，然后利用原子力显微镜测量，读出运动坐标值，既简单，一般也可满足工程要求。

南山王 · 发表于 2004-9-3 01:41:00

fengxg1974

即使是曝光后测量，用原子力显微镜也难以确定光电的中心位置。

fengxg1974 · 发表于 2004-9-8 17:01:00

如果光点质量较好（指接近衍射极限镜头。如果光点质量差，我想0.1μm就没意义了），光刻胶曝光、显影后侧壁是很陡直的（0.1μm以下），对两条线的内边距、外边距分别测量，即可算出中心距。当然，这两个光点是否满足工艺条件尚需分析，也不能确定该方法能否达到0.1μm，我个人只是认为该法如果可行，相对简便，精度应接近0.1μm，如果非理论研究，工程上应能满足要求。

xdtang · 发表于 2004-9-14 00:09:00

都是高手啊

adamxiong · 发表于 2004-9-14 07:27:00

路过学习

bignet · 发表于 2004-9-15 20:26:00

这个精度应该可以吧，要不Extreme ultraviolet光刻技术怎么实现

如何测试光点间距？

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