[讨论]沉积速率的大小对镀膜质量的影响

vietti

其他条件相同的情况下

hzg168

镀膜速度太快,对膜层的颜色会有影响.

cjjiang

沉积速率大，达到基地的物质来不及扩散，会使膜变得疏松，影响膜的致密性

（新手，不知道说得对不对，望指教）

wish

若沉积速率大，

材料的折射率会有变化，可能影响光性；

材料容易喷溅，导致膜面容易出现点子；

薄膜的均匀性受影响；

likeoe

以下是引用cjjiang在2004-9-1 9:44:10的发言：

沉积速率大，达到基地的物质来不及扩散，会使膜变得疏松，影响膜的致密性

（新手，不知道说得对不对，望指教）

最好有实验数据表明沉积速率与致密性的关系。我也可以说，沉积速率大了，到达基底的物质来不及散开，会使膜变得致密，呵呵

Leesnow

不能这么笼统的说吧,例如你的设备有离子源,那么相应的参数就会有一定的蒸发速率,如果不同呢,那么首先折射率会改变,然后有可能引起吸收,如果再大的话,膜的晶状结构就会发生变化(我只是知道,还没有见过啊^_^)......不过,有的介质就不会有那么大的变化,如sio2!如果你的设备上面没有离子源,那么....我也不知道了,谁知道上来说说啊!

linmaco

不能这么笼统的说吧,例如你的设备有离子源,那么相应的参数就会有一定的蒸发速率,如果不同呢,那么首先折射率会改变,然后有可能引起吸收,如果再大的话,膜的晶状结构就会发生变化(我只是知道,还没有见过啊^_^)......不过,有的介质就不会有那么大的变化,如sio2!如果你的设备上面没有离子源,那么....我也不知道了,谁知道上来说说啊! ----------------------------------------------

怎么总对自已没有信心，我觉得分析很有道理，速率绝对有好处－－－效率高（能多赚钱）有些厂家就采用这方法生产IR-CUT，搞得市场混乱，价格狂跌！现在这段时间大家最好少买摄像头，价实货不真，差得要命，不如各位是否有同感？上面问题在杭州光会的光盘中有些论述。

nittohai

对很多镀膜物质来说，高的蒸发速度能提高物质的折射率，能增加膜的致密度。不过均匀性会受到影响。

vietti

有的说增加致密性，有的说降低致密性。

到底是怎样呢？

继续讨论........

guangang

理论上速率高是可以增加膜料的折射率的,不同的材料增加的程度是不一样的!真空度高也能提高折射率,还有温度越高折射率越高.

镀膜的三个基本要素:基底温度,真空度,蒸发速率(T.P,V)

showashinku

镀膜的三个基本要素:基底温度,真空度,蒸发速率(T.P,V)

vacuum

速率太快容易造成膜層結構鬆散