烘烤对晶控的干扰问题

1# ferry

晶控片用好的30元的与10元相差很多
加大烘烤功率，调整烘烤调功器pid，降低烘烤温度。行星盘太大了周期性影响晶控片。烘烤灯位置也会周期性影响晶控片。
苏州膜头 发表于 2009-5-8 17:29

晶控片，有的filtek的，40多块钱的银铝合金。
现在是感觉行星盘对晶控也有干扰，具体表现在预熔时，速率显示不为0，而是起伏。镀制过程中，有密密的齿状。烘烤干扰也如你所言，但幅度要比工转要大。
不知道你们是如何解决此问题的，请教。
实际镀制曲线如下面所示

一点建议：
1.确认晶控水冷系统是否正常，如果正常，基本可以排除加热对晶控有严重影响。
2.PID参数非常重要，需要根据膜料蒸发特性做相应调整。好好研究一下你参数设置是否合理。
祝好运！

补充：
1.分段 测量晶控探头电极到振荡包处电阻，很有可能是接触不好。
2.使用好的晶振片做试验。

感谢楼上的热情建议，前面已经做过好多工作，包括你所指几个方面，电子枪原因也找过，排除了。因为如果把烘烤停掉，PID按360说明书给定的参考值，或者做下调整，曲线都是很平稳的。所以，现在怀疑只能是烘烤。

应该是晶振片的问题.....................................

！！！！！！！！！！！！学习学习 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!

应该是晶振片的问题.....................................
baron 发表于 2009-5-14 12:58

晶振片换成全新的，情况依旧
只要烘烤电压摆动不超过10V，旧的，新的晶振片显示速率都是比较稳定的。
感觉还有其他原因吗？

还在等待答案中

呵呵
给你说个法子，可以试一下
晶振片是有温度限制的，超出了这个温度，会影响频率振动的。
说明说上说的温度上限好像是不能超过127°还是多少，不记得了，所以在高温情况下，看看冷却水开了没有？

没那麽严重吧。  有干扰跟烘烤关系也不大。

没那麽严重吧。  有干扰跟烘烤关系也不大。
gxbm 发表于 2009-5-25 15:58

反正这事比较让人头疼，厂家已经调了好长时间了。现在可以确定，应该是由温度场不均匀导致，具体体现在：
室温下，开工转，没有影响，不开工转，加热烘烤时，也没有影响，但开工转＋烘烤，则影响就出现了。
分析下，认为是转动时，四个小行星盘成了移动的四个幅射源，导致晶振片周围温度发生变化，从而引起速率变化。

实在想不出其他原因了，还会有其他原因吗？
等待。。