MEMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中，采用低压化学气相淀积（LPCVD）这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工艺采用若干淀积层来制作结构，然后释放部件，允许它们做横向和纵向的运动，从而形成MEMS执行器。最常见的表面微机械结构材料是LPVCD淀积的多晶硅， ...

MEMS器件和系统具有体积小、重量轻、功耗低、成本低、可靠性高、性能优异、功能强大、可以批量生产等传统机械无法比拟的优点,在很多领域得到广泛的应用. 1 信息业 信息技术的发展,对设备提出了更高的要求,功能更加强大的同时体积缩小. 从多媒体人机界面(HI)看,使用微麦克风的语音输入和使用微摄像系统的图形输入 ...

当设计一个微制造形成的器件时，必须意识到薄膜材料的性能与材料在块或宏观形式下的性能大相径庭。这些不同是由于薄膜材料和块材料的制备工艺不同所导致的。另一个导致不同的起因是均质性的假设，这假设对块材料通常是足够准确的；但是对于器件大小与材料晶粒尺寸处于同一尺度的情况下，该假设是错误的。其它在微尺度范 ...

随着微加工技术的愈益成熟,MEMS及其他微制造技术显示出巨大的发展潜力。美国物理学家Richard P. Feynman于1959年12月29日在加州理工学院举行的美国物理协会的年度会议上发表了题目为There's Plenty of Room at the Bottom的演讲,并发表在1960 年2 月的Cal tech's Engineering and Science上。其中描述道:“我将要介绍的 ...

现在较为成功的MEMS市场主要包括压力传感器、加速度计、微陀螺仪、喷墨头以及硬盘驱动头,这些器件的绝大多数用户分布在IT(喷墨头、硬盘驱动头) 和汽车(压力传感器、加速度计、微陀螺仪)领域。德国Micro Parts公司的ReinerWechsung博士对全球微系统市场分析进行了分析,1996年约为130亿美元,1997年约为140亿美元,1998年约 ...

微型驱动器作为构成微机电系统的主要元件，一直是各国MEMS研究中的一项重要内容，微驱动器技术的进步必将带动MEMS技术的全面发展。MEMS测试特别是MEMS动态机械特性测试对MEMS设计、制造和可靠性运行具有非常重要的意义。与宏观机械结构一样，MEMS动态测试包括振动激励、振动测量和模态分析等三个基本环节。通过某种激励 ...

1 气体推进系统 该系统是目前用于微小卫星的最为成熟的推进系统，其结构和原理简单，工作可靠，已成功用于已经发射的许多微小卫星中．但是气体推进体积较大，集成度不高．由于需要笨重的推进剂储罐，质量大，同时比冲很低，形成用于微小卫星的不利因素，需要进一步提高集成度和减轻质量． 2 PPT系统 其设计简单， ...

微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科。随着MEMS从研究阶段逐渐步入产业化阶段，其对测试系统的需求也越来越迫切，特别是对动态特性的测试技术。近年来，MEMS动态测试技术得到了国内外许多MEMS研究机构的高度重视。 与宏观机械结构一样，MEMS动态测试包括振动激励、振动测量和模态 ...

MEMS(Micro Electromechanical Systems，即微机电系统)是指采用微加工技术制作的包括微传感器、微致动(执行)器、微能源等微机械部分和处理信号的电子集成线路部分组成的微型器件与装置。由于集成了传感器、致动器等器件和装置，MEMS可根据微电子电路信息的指令控制致动器实现机械操作，也可利用传感器接受外部信息，将 ...

基于几何的工艺模拟方法的通病在于非常烦琐和不直观。为了解决这一问题，人们提出了基于特征的MEMS器件建模方法。 Gao等首先将特征的概念引入MEMS器件设计领域，系统地提出了基于特征的MEMS几何建模方法(ferature-based microsystem geometric modeling，以下简称FBMGM)。Gao等人的研究工作大致可以分为以下三个部 ...