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和成熟的IC CAD相比，MEMS的设计是非常复杂而艰难的，这主要是由于：
（1）MEMS涉及多种学科和多个能域，因此要求具备的知识基础很宽；
（2）MEMS所涉及的微观领域，有许多规律与现象还不被人们完全了 ...
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微机电系统CAD设计的一般过程是：通过掩膜及工艺或结构的直接描述，由结构仿真器生成三维几何模型。然后从材料数据库中提取元件的材料特性，将其插入几何模型中，生成完整的三维模型，再用该模型进行多能量域的 ...
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系统级仿真是MEMS分析与设计的独特要求，也是MEMS CAD要实现的目标。MEMS既不同于IC，又不同于宏观机械，强调在单一或多个芯片上集成传感、信号处理、控制及驱动于一体的思想。另一方面，MEMS更强调系统整体的输出 ...
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随着MEMS技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功,应用最广泛的微机电系统器件之一，而微加速度计（microaccelerometer）是惯性传感器件的杰出代表。微加速度计的理论基础是牛顿第二定律，根据基本的 ...
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MEMS地震加速度计是将待测定的地震信号对应的加速度的大小转化为电压信号，用电压情况间接反映振动的加速度的大小。
地震传感器是野外地震数据采集最为关键的设备之一,其性能的好坏直接关系到采集数据的质量及地质 ...
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近年来，传感器正处于传统型向新型传感器转型的发展阶段。新型传感器的特点是微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化，它不仅促进了传统产业的改造，而且可导致建立新型工业，是21世纪新的经济增长点 ...
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现行的MEMS设计主要还是依靠手工设计以及设计者的知识与专业设计水平，而VLSI中的数字逻辑综合为IC设计带来实现自动化设计的成功，成为我们设计MEMS器件的一种参考与借鉴。MEMS器件综合还是一个成长的新兴的领域 ...
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随着MEMS技术的发展，惯性传感器件在过去的几年中成为最成功,应用最广泛的微机电系统器件之一，而微加速度计（microaccelerometer）是惯性传感器件的杰出代表。微加速度计的理论基础是牛顿第二定律，根据基本的 ...
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MEMS综合目前有下列三种方法：
(1)MOGA（Multi-Objective Genetic Algorithm）多目标基因算法
基因算法(GA)是一种启发式的优化方法，它的原理启迪于自然界生物进化过程，借鉴于达尔文的物竞天演、优胜 ...
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MEMS材料按照性质分为结构材料和功能材料两类。目前，在MEMS结构（主要有微泵、微电机、微轴承、微阀和微型传感器等）中所使用的材料有硅及其化合物、陶瓷、形状记忆合金、玻璃、金属及高分子材料如聚酰亚胺等。 ...
